TEM เป็นกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนที่มีการใช้งานกันมาไม่ต่ำกว่า 30 ปีแล้ว แต่จะหาผู้ที่มีความเข้าใจถึงหลักการพื้นฐานและการประยุกต์ใช้งานให้ได้ผลในประเทศไทยนี้นับว่ายังมีอยู๋น้อยมาก จึงถือได้ว่าการเรียบเรียงหนังสือ "การประยุกต์ TEM ในงานด้านวัสดุศาสตร์และวิศวกรรม" ของคณะนักวิจัยของศูนย์เทคโนโลยีโลหะและวัสดุแห่งชาติ ออกเผยแพร่ในครั้งนี้ เป็นการสร้างฐานที่สำคัญในวงการวิจัยและพัฒนาของไทยให้ก้าวหน้าไปได้อย่างมากอีกก้าวหนึ่ง การใช้ภาษาที่กระชับเข้าใจได้ง่าย ประกอบด้วยภาพต่าง ๆ ที่ชัดเจน ทำให้เป็นหนังสือที่สามารถศึกษาค้นคว้าด้วยตนเองได้เป็นอย่างดี
สารบัญ
บทที่ 1 ความรู้พื้นฐานเกี่ยวกับจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบทรานสมิสชั่น
1.1 แนะนำ TEM และองค์ประกอบของกล้อง TEM
1.2 ข้อมูลที่ได้จาก TEM
1.3 ความรู้พื้นฐานในการใช้งาน TEM
บทที่ 2 การเตรียมชิ้นงานสำหรับ TEM
2.1 ภาพรวมเกี่ยวกับการเตรียมชิ้นงาน
2.2 การตัดชิ้นงาน
2.3 การขัดชิ้นงาน
2.3.1 ดิมเพิลกรายน์เดอร์
2.3.2 ไทรพอดโพลิชเชอร์
2.4 การลดความหนาของชิ้นงาน
2.4.1 การกัดบางด้วยสารเคมี
2.4.2 การกัดบางด้วยไฟฟ้า
2.4.3 การกัดบางด้วยลำไอออน
2.4.4 อัลตราไมโครโทม
บทที่ 3 การประยุกต์ TEM ในการพัฒนาโลหะผสม
3.1 ทำไมจึงต้องใช้ TEM ในการศึกษาโลหะผสม?
3.2 ลักษณะทางเรขาคณิตของข้อบกพร่อง และการเปลี่ยนรูปของโลหะ
3.3 การศึกษากลไกการบ่มแข็งของอะลูมิเนียมผสม
3.4 การศึกษาเทมเปอร์คาร์ไบด์ในเหล็กกล้าที่ผ่านการอบชุบ
3.5 การพัฒนาซูเปอร์ลัลลอย
บทที่ 4 การประยุกต์ TEM ในการวิเคราะห์โครงสร้างฟิลม์บางพหุผลึก
4.1 ทำไมจึงต้องใช้ TEM ในการศึกษาฟิลม์บาง?
4.2 ประเด็นปัญหา
4.3 การเตรียมชิ้นงาน
4.4 สภาวะการใช้เครื่องมือ
4.5 ขั้นตอนการวิเคราะห์
4.5.1 การวิเคราะห์โครงสร้างจุลภาค และการวัดความหนาของฟิลม์
4.5.2 การวิเคราะห์โครงสร้างผลึก
บทที่ 5 การประยุกต์ TEM ในการวิเคราะห์โพลิเมอร์
5.1 เทคนิค TEM ให้ข้อมูลเกี่ยวกับโพลิเมอร์ในแง่มุมใดบ้าง?
5.2 ประเด็นปัญหาและแนวทางในการศึกษา
5.3 การเตรียมตัวอย่าง
5.3.1 การเตรียมแผ่นฟิลม์โพลิเมอร์ผสม
5.3.2 การตัดแผ่นฟิลม์บางด้วยเทคนิคไมโครโทม
5.3.3 การย้อมติดสี
บทที่ 6 การประยุกต์ TEM ในการศึกษาสารกึ่งตัวนำ
6.1 ทำไมจึงต้องใช้ TEM ในการศึกษาสารกึ่งตัวนำ?
6.2 เทคนิคและเงื่อนไขที่ใช้ในการวิเคราะห์
6.2.1 การเลี้ยวเบนอิเล็กตรอนแบบเลือกบริเวณ
6.2.2 การถ่ายภาพไบรต์ฟิลด์
6.2.3 เงื่อนไขในการใช้งาน TEM
6.3 การเตรียมชิ้นงาน
6.4 ผลการวิเคราะห์และอภิปราย
6.4.1 ชั้นฟิลม์บางแบบอิพิแทกซี Ga In P
6.4.2 ชั้นฟิลม์บางแบบอิพิแทกซี GaN
ประวัติและผลงานของผู้เขียน
ภาคผนวก